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      金屬掩模測量設備 —— AM-OLED張網檢測


      SOC260

      SOC260主要應用于G6產線蒸鍍金屬掩模的TP/CD檢測。
         產品特征

      ● 龍門氣浮結構

      ● 多自由度激光干涉儀

      ● 高精度

      ● 高效率

      ● 可配置不同的照明方式

      ● 可靠的溫度控制系統

         主要技術參數

      型號

      SOC260 

      線寬測量重復性

      100nm@3sigma(On Metal Mask)

      線寬測量精度

      ±300nm(On Mapping Glass)

      長寸測量重復性

      300nm@3sigma(On Mapping Glass)

      長寸測量重復性

      500nm@3sigma(On Metal Mask)

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