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      長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


      SOM245/10

      SOM255/10

      SOM200系列測量設備主要應用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工藝。其中,SOM200/10系列為長寸測量設備,又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機,主要應用于長寸測量,兼容短寸測量,可選配光刻膠膜厚測量;SOM200/10A系列為關鍵尺寸測量設備,主要應用于短寸測量。該系列設備沿用高分辨率曝光機相關技術,可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。
         產品特征

      ● 多功能測量

      ● 高測量精度

      ● 高測量效率

      ● 高精度的溫度控制和高效潔凈系統

         主要技術參數

       型號

      SOM245

       SOM255

       SOM260

      基板尺寸

      730mm×920mm

      1100mm×1300mm

      1500mm×1850mm

      1300mm×1500mm

       TP測量重復性

      300nm

       300nm

      300nm

       TP測量復現性

      400nm

      500nm

      500nm

      CD/OL測量重復性

      30nm

      30nm

      30nm

      CD/OL測量復現性

      40nm

      40nm

      40nm

      Tact Time

      5 min

      6 min

      7 min

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